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50Kev光斑可调节离子源配备双灯丝可集成滤波器Model 1450
可调光斑尺寸≥5um,用于空间定义的溅射或注入
发射调节轰击提供稳定的离子电流
连续可变束能5kV至50kV
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刘先生
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