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联系 龚经理 18721868497 微信同号
双等离子发射器离子枪离子源 气相离子源Ion Guns Model 1407 气相源He, Ne, Ar, Kr, Xe 束斑可调节
Nonsequitur 离子枪离子源 Ion Guns Model 1407 设计特点
紧凑型离子源，双等离子发射器
可调节的束斑， ≥ 15?m ，用于空间定义的溅射
可调节发射，提供稳定的束流，前面板可调动态范围 x300
连续可变电子束能量，达 5keV
用于电子束扫描和校正的双电极
用于减小束斑大小的预目标透镜偏转
集成束流大小监测
灯丝不直接到样品，避免不必要的样品污染
可更换电子束修剪孔径板，典型使用寿命> 500 hours
提供双灯丝备份
内部源压力传感器，允许监控离子源压力
采用适合超高真空和耐蚀刻的材料
差速泵，以尽量减少主腔室气体负载
在惰性气体下运行
刘先生
139****4983
皕赫科学仪器（上海）有限公司
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