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SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD
SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售***的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
SI 500 PPD是电容平板式PECVD等离子沉积设备，主要用于SiO2，SiOxNy，SiNy，a-Si，SiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。
图1、SI 500 PPD 设备外形图
系统配置：
? 电源13.56 MHz, 600 W
? 驱动电极集成了淋浴头和暗区屏蔽
? 6 MFC控制气路(SiH4, NH3, N2O, O2, Ar, CF4)
? 预真空锁loadlock， 带有取放机械手
? 高速率真空泵系统，独立气流压强控制
? 上电极和下电极分别加热，具备高的长期可靠性和工艺重复性
? 基底温度20?C至350?C
? 远程控制(RFC)
? SENTECH***等离子设备操作软件
图2、SI 500 PPD 控制软件
选项：
? 可选低频应力调节
? Cassette到cassette操作方式
? 穿墙式安装
? 在线椭偏测量(SE 401, SE 801)
侯先生
063*****6067
上海银雀电子科技发展有限公司
电 话 156****6730
地 址 上海 上海市嘉定工业区叶城路925号B区4幢JT30367室
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